Motorized Stage
얼라이먼트 스테이지, UVW STAGE 생산업체
에스티원
2013. 6. 10. 11:44
아래 그림에 표시된 것과 같이 GAS 얼라이먼트 스테이지는 결합된 축X1, X2&Y의 움직임을 적용한 것이며 다양한 스테이지 작업을 수행하고 있습니다. (녹색선은 변경된 위치)
▼ 참고 위치 ▼ X축 방향 이동 (M1&M2 움직임)
▼ Y축방향 이동(M3 움직임) ▼ 대각선으로 이동(M1, M2&M3 움직임)
▼ Bench 중심 회전(M1, M2&M3 움직임) ▼ 회전시 움직임(M1, M2&M3 움직임)
